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半导体行业光刻机国内技术很落后上海微电子16年上半年好像宣布研发成功twin scan,是不是immersion不清楚,猜测用是ArF据说能用于90纳米
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南通华林科纳半导体设备有限公司,生产半导体清洗,腐蚀机,蚀刻机,显影机,公司地址位于江苏省南通市如皋市高新区新桃路90号,联系方式18913575051,如果您对我公司开发
